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一种基于Linnik干涉物镜的模块化倍率变换轮廓测量装置.pdfVIP

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  • 2023-11-29 发布于四川
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一种基于Linnik干涉物镜的模块化倍率变换轮廓测量装置.pdf

    本申请涉及一种基于Linnik干涉物镜的模块化倍率变换轮廓测量装置，包括光源模块、目镜镜筒模块、垂直扫描驱动及位移传感编码器、白光干涉精细垂直扫描驱动及位移传感编码器、水平倍率切换驱动及位移传感编码器以及至少三个倍率不同的干涉物镜模块；最高倍率的干涉物镜模块安装在白光干涉精细垂直扫描驱动及位移传感编码器，其他倍率的干涉物镜模块通过转接件安装在水平倍率切换驱动及位移传感编码器，白光干涉精细垂直扫描驱动及位移传感编码器安装在水平倍率切换驱动及位移传感编码器上，水平倍率切换驱动及位移传感编码器安装在垂

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