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一种气体喷淋头.pdfVIP

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  • 2023-11-29 发布于四川
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一种气体喷淋头.pdf

    本实用新型公开了一种气体喷淋头，用于向反应室内输入反应气体，包括：若干气体扩散室，所述气体扩散室包括位于最上层的顶部气体扩散室和与所述顶部气体扩散室顺次堆叠的至少一个底部气体扩散室，所述顶部气体扩散室的顶面设有进气口，每个所述底部气体扩散室的侧壁设有进气口；若干匀气管，分设于所述顶部气体扩散室和每个所述底部气体扩散室，不同所述气体扩散室中的所述匀气管相互隔离并通过所述喷淋口一一对应地与所述反应室相通；流阻调节机构，设于至少一个所述匀气管，以调节所述反应气体流经所述至少一个匀气管时的阻力，使通出气

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220099177 U (45)授权公告日 2023.11.28 (21)申请号 202321478891.2 (22)申请日 2023.06.09 (73)专利权人 楚赟科技（绍兴）有限公司 地址

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