原创力文档- 4
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- 2023-11-29 发布于四川
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本发明涉及一种进气装置及进气方法，进气装置包括：进气装置本体，在进气装置本体的侧边设置有若干第一进气口和若干第二进气口，第一进气口进入的气体能直冲进气装置本体的中心区域，正对第二进气口处设置有挡板，使得第二进气口进入的气体需要越过挡板然后从挡板处扩散至进气装置本体的中心区域，采用上述进气装置，能够实现晶圆中心区与晶圆边缘区的进气速率不同，晶圆中心区与晶圆边缘区的气体分布量不同，从而实现晶圆中心区与晶圆边缘区的反应速率不同。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117133689 A
(43)申请公布日 2023.11.28
(21)申请号 202311376838.6
(22)申请日 2023.10.24
(71)申请人 上海谙邦半导体设备有限公司
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