球差校正高分辨电子显微像衬度随样品厚度的变化规律.docxVIP

球差校正高分辨电子显微像衬度随样品厚度的变化规律 安装球差校正装置的透射电子显微镜（以下简称球差校正电子显微镜）已批评和应用。用球差校正器可连续减小物镜球差系数至零值甚或负值。球差系数绝对值很小时,电镜的点分辨本领大大提高,达到甚至超过电镜的信息极限。点分辨本领高于信息极限时,像的最佳分辨率将取决于信息极限。 用球差校正电镜拍摄的高分辨电子显微像(以下简称高分辨像)仍然摆脱不了衬度传递函数的调制。所以,仅在特定的成像条件下,即Scherzer聚焦时才能获得结构像,而在实验中往往不易精确设定离焦量。偏离Scherzer聚焦时,像衬度可能完全不反映晶体结构。此时,采用图像处理方法对像进行处理,可使畸变的信息复原以获得结构像。常用的高分辨像处理技术有出射波重构和像解卷,可将原不反映结构的高分辨像转换为结构像,并使像的分辨率提高至信息极限。 像解卷是将单张高分辨像转换为结构像的处理技术。尽管像解卷技术基于弱相位物体近似(WPOA),而实际样品却往往偏离弱相位物体,但事实证明解卷处理对实际样品仍然有效,在微小晶体完整结构及晶体缺陷结构的测定中得到了广泛应用,这是因为能拍摄到高质量高分辨像的样品都满足赝弱相位物体近似(PWPOA)像衬理论,而赝弱相位物体近似的像强度公式与弱相位物体的很相似,只是后者的电势投影分布函数被换成赝电势投影分布函数。当样品厚度小于临界值时,可以用像解卷技术得到反映物