一种声表面波谐振器及制备方法、滤波器.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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一种声表面波谐振器及制备方法、滤波器.pdf

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本发明提供了一种声表面波谐振器及制备方法、滤波器，该声表面波谐振器包括衬底，衬底包括第一区域以及第二区域；在衬底的第一区域一侧设置了叉指电极，在第二方向上，叉指电极的第一电极指与第二汇流条之间具有第一间隔，第二电极指与第一汇流条之间具有第二间隔；由于在第一方向上，第一间隔在第二方向上的宽度等差递减，且第二间隔在第二方向上的宽度也等差递减，使得横波在声表面波谐振器中更容易散射，从而破坏杂散模式形成谐振的条件，抑制声表面波谐振器的横向杂散模式，提高了声表面波谐振器的性能。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117155335 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311196745.5 H03H 9/02 (2006.01)