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本申请提供一种高刚度气浮轴承微结构及其气浮轴承，包括六排均压槽组，分别设置于上滑块底面左右侧、左滑块内侧端面、右滑块内侧端面、左支撑滑块顶面和右支撑滑块顶面；均压槽组包括与其所在的滑块上的各节流孔一一对应设置的均压槽，均压槽与其对应的节流孔相连通，且于四周包围节流孔；均压槽用于对经节流孔节流后的压缩气体进行二次节流和均压、扩大导轨气膜的高压承载区域至均压槽的四周、平缓压力梯度区域，并抑制节流孔远端气膜压力的衰减、提高导轨承载力及刚度。本申请提高了导轨的承载力和刚度，提高气浮导轨的运动精度和抗干扰
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117145866 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202311025131.0
(22)申请日 2023.08.15
(71)申请人 光力瑞弘电子科技有限公司
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