一种MEMS气体传感器、阵列及制备方法.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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一种MEMS气体传感器、阵列及制备方法.pdf

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本发明公开了一种MEMS气体传感器、阵列及制备方法。MEMS气体传感器包括：硅晶圆基底、检测区和控制电极区；检测区包括N个气敏检测区和一个共用电极区；控制电极区包括N个独立加热电极引脚、N个独立测试电极引脚、一个共用加热电极引脚和一个公用测试电极引脚；气敏检测区包括一个加热电极和两个测试电极，加热电极的一端与独立加热电极引脚连接，另一端通过第一共用电极连接至共用加热电极引脚，第一测试电极通过第二共用电极与共用测试电极引脚连接，第二测试电极与独立测试电极引脚连接；每个气敏检测区通过独立加热电极引脚

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117147634 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311057924.0 (22)申请日 2023.08.22 (71)申请人华中科技大学地址 430074