立式炉用上下料机构.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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立式炉用上下料机构.pdf

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本申请涉及一种立式炉用上下料机构，涉及晶圆加工设备领域，立式炉用上下料机构配合座和滑动架，所述配合座设置于一立式炉的入口处，所述滑动架上竖向滑设有一支撑架，所述滑动架上设置有用以驱动所述支撑架沿远离或靠近立式炉入口处滑动的第一驱动件；所述支撑架上设置有密封座，所述密封座上设置有一用于放置晶圆的晶圆架，所述密封座滑动至与所述配合座抵接以将立式炉的入口封闭。本申请中各部件的配合，实现晶圆上下料的自动化，晶圆的上下料过程中，无需人工进行晶圆的送料以及炉门的关闭，还可保障立式炉内气压的稳定性，尤其避免了

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117146576 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311087552.6 (22)申请日 2023.08.25 (71)申请人湖南艾科威半导体装备有限公司地址