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一种用于检测角速度的装置、方法和系统.pdfVIP

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  • 2023-12-02 发布于四川
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一种用于检测角速度的装置、方法和系统.pdf

    本申请提供了一种用于检测角速度的装置、方法和系统，属于微机电系统MEMS传感器、惯性器件技术领域，以实现对多轴角速度的检测。该装置包括：第一检测单元、第二检测单元、第三检测单元、第四检测单元和弹性耦合单元。弹性耦合单元用于产生四波腹运动，当外界角速度输入装置时，检测单元能够在沿第三轴发生第一位移时输出第一信号，第一位移用于确定角速度的大小。本申请所揭示的装置，通过弹性耦合单元的四波腹运动，耦合四个检测单元实现平面内正交两个方向的线运动，能够实现多轴角速度的检测，同时四个检测单元两两中心对称分布，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117146789 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202210563646.5 (22)申请日 2022.05.23 (71)申请人 华为技术有限公司 地址 5181

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