1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

光刻设备、温度传感器、和光纤布拉格光栅传感器.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约4.14万字
  • 约 35页
  • 2023-12-02 发布于四川
  • 举报

光刻设备、温度传感器、和光纤布拉格光栅传感器.pdf

    一种光刻设备包括，照射系统、投影系统、温度敏感物体、和温度传感器，所述温度传感器包括检测器和波导装置，所述波导装置热耦合到所述温度敏感物体并且包括输入端、下游端、以及第一散射特征和第二散射特征。所述照射系统照射图案形成装置的图案。所述投影系统将所述图案的图像投影到衬底上。基于温度，所述第一散射特征反射第一光谱。未被所述第一散射特征反射的辐射被允许向下游移动。基于温度，所述第二散射特征反射不同于所述第一光谱的第二光谱。未被所述第二散射特征反射的辐射被允许向下游移动。所述检测器被布置为从所述输入端接

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117157587 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202280027460.6 L ·J ·A ·凡鲍克霍文　

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >