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电子零件清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-12-02 发布于四川
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电子零件清洗装置.pdf

    本发明是一种对晶圆的表面进行清洗的电子零件清洗装置(100)，所述电子零件清洗装置(100)包括湿式清洗单元(10)、干式清洗单元(40)、搬送单元、及控制单元(17)，控制单元(17)在湿式清洗单元(10)中对晶圆(80)表面进行湿式清洗，将已清洗的晶圆(80)搬送至干式清洗单元(40)，在干式清洗单元(40)中利用大气压等离子体对晶圆(80)表面进行干式清洗，将已干式清洗的晶圆(80)搬送至湿式清洗单元(10)，进行氢水处理，所述氢水处理使用将氢气溶解于水中而成的氢水对晶圆(80)的表面进行

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117157737 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202280005063.9 (51)Int.Cl .

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