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设备介绍：离子注入机.pptxVIP

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  • 2023-12-07 发布于陕西
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设备介绍：离子注入机.pptx

    设备介绍

    离子注入机

    用途

    主要技术指标

    注入能量：10keV～1MeV（单价离子）;

    注入剂量：1E11～1E17ions/cm2;

    角度：±11°;

    样品：6英寸（向下兼容），17片;

    目前可进行硼、磷、氟、铝、氮、氩等离子注入.

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