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本申请公开了一种控制直拉单晶液面距的方法，包括：进入稳温工序时，测量坩埚内硅熔液表面的温度，获取硅熔液表面的温度数据T；通过温度数据T和温度预设数据T0获取第一差值ΔT，当第一差值ΔT的范围在10℃～50℃，获取导流筒的位置数据S；通过位置数据S和位置预设数据S0获取第二差值ΔS；基于第一差值ΔT和所述第二差值ΔS，调整坩埚的位置。本申请通过设置测量点以及温度数据与导流筒之间的位置关系，保证液面距按照工艺要求准确控制，保证直拉法生产但经过产品中对温度梯度的要求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117166043A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311234193.2(51)Int.Cl.
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