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设备介绍：离子束刻蚀机.pptxVIP

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  • 2023-12-07 发布于陕西
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设备介绍：离子束刻蚀机.pptx

    设备介绍

    离子束刻蚀机

    用途

    用于刻蚀较难刻蚀的物质及金属；

    一次可刻蚀6寸片/4寸片/3寸片一片或2寸片4片；

    刻蚀均匀性±5%

    主要技术指标

    本底真空：5E-4Pa，

    工作真空：2E-2Pa，

    温度：20度

    离子能量0-600eV(实用范围200-400eV)

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