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用于光谱椭偏仪的运动跟踪测量方法.pdfVIP

用于光谱椭偏仪的运动跟踪测量方法.pdf

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    本发明公开了一种用于光谱椭偏仪的运动跟踪测量方法，包括以下步骤：S10，搭建光谱椭偏仪电机测试工装；S20，进行电机筛选及特征数据记录，记录时间差与电机速度的对应关系，建立电机数据库；S30，完成一台光谱椭偏仪的所需的电机的测试与数据记录，并将电机安装至光谱椭偏仪上，电机数据拷贝至软件指定位置，待调用；S40，将测试应用算法集成至安装的光谱椭偏仪的应用程序中，完成测试与应用。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117169126A

    (43)申请公布日2023.12.05

    (21)申请号202311162595.6

    (22)申请日2023.09.11

    (71)申请人系科仪器（上海）有限公司

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