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本发明涉及半导体测试技术领域，尤其涉及一种电阻测量仪。电阻测量仪包括驱动组件、测量臂、底座和多个探头，测量臂沿长度方向的第一端延伸至检测台的上方，检测台用于承载待测量的晶圆。每个探头的探针类型不同，底座上具有多个安装工位，多个探头分别安装于对应的安装工位上。驱动组件设置于测量臂上且驱动组件的输出端伸出测量臂的第一端并转动连接有底座，以选择性地将其中一个安装工位上的探头转动至测量位置。通过将多种具有不同探针的探头安装于底座上，根据不同晶圆的测量需求灵活选择相匹配的探头，提高了电阻测量仪的通用性和适
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117169598A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311451661.1
(22)申请日2023.11.03
(71)申请人无锡卓海科技股份有限公司
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