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- 2023-12-07 发布于陕西
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设备介绍
快速退火炉
用途
主要技术指标
最高温度1000℃，
最长保温时间1.5min，其他温度视情况而定。
最大升温速度75℃/s；
加工芯片尺寸：六寸、五寸、四寸、三寸均一片，两寸五片，含碎片；
三路工艺气体：氮气、氧气、氩气；（流量0~5SLM）；
氮气吹扫降温；
上下两层灯管可独立控制退火。
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