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本发明提供一种单晶炉上炉筒清洁装置，涉及单晶炉清洁装置技术领域，包括爬升组件、清扫收集组件，清扫收集组件包括驱动电机、清洁转盘、清洁毛刷、真空吸附管，清洁转盘的内部设置中空空腔，清洁转盘的周向侧壁均匀开设吸附口，清洁转盘位于驱动电机的上方，驱动电机与爬升组件连接，驱动电机的驱动端与清洁转盘连接，清洁转盘的周向侧壁与清洁毛刷连接，清洁转盘的底部与真空吸附管转动连接，且清洁转盘的中空空腔与真空吸附管连通，清洁毛刷与上炉筒的内壁接触，进行旋转刷洗使得附着在上炉筒内壁的氧化物变为细小颗粒，再通过吸附口、
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117161021A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311092096.4
(22)申请日2023.08.28
(71)申请人宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
地
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