1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种非晶硅红外探测器的吸收板结构及工艺方法.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.38万字
  • 约 14页
  • 2023-12-06 发布于四川
  • 举报

一种非晶硅红外探测器的吸收板结构及工艺方法.pdf

    本公开涉及一种非晶硅红外探测器的吸收板结构及工艺方法，包括：热敏层、金属硅化物层、介质层和电极层；热敏层包括非晶硅材料；金属硅化物层位于热敏层的电极连接区，且处于热敏层和电极层之间；介质层位于热敏层的电阻区上，保护非晶硅电阻不形成金属硅化物；电极层位于金属硅化物层背离热敏层的一侧，电极层的材料为氮化钛、钛、铂化镍、镍、钨、钴中的一种；热敏层、金属硅化物层和电极层所构成的结构的噪声小于电极层与热敏层直接接触的噪声。通过本公开的技术方案，降低了红外探测器的噪声，提高了红外探测器的探测率和灵敏度，改善

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117174777A

    (43)申请公布日2023.12.05

    (21)申请号202311399980.2

    (22)申请日2023.10.26

    (71)申请人北京北方高业科技有限公司

    地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >