纳秒脉冲下针-针电极微米级空气隙击穿光学特性研究.docVIP

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2023-12-10 发布于广东
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纳秒脉冲下针-针电极微米级空气隙击穿光学特性研究.doc

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西安交通大学本科毕业设计（论文）

摘要

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纳秒脉冲下针-针电极微米级空气隙击穿光学特性研究

摘要

近年来，由于设备小型化技术的提高，越来越多的集成了大量器件的设备开始出现。这些设备物理尺寸与功耗的降低大大提升了其性能，但同时随着电子器件尺寸的减少，其内部将会出现极高的电场强度，有时会高达几十MV/m。例如随着微机电系统（MEMS）的问世，出现了静电驱动的MEMS陀螺仪、MEMS惯性传感器和MEMS加速度计等微电子器件，它们在工作中往往需要承受极高的电场（约108V/m），极易导致器件损伤甚至失效等可靠性问题。因此，研究微米尺度下气体击穿特性对于