一种晶托孔洞清洁装置.pdfVIP

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  • 2023-12-09 发布于四川
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本实用新型涉及硅片加工技术领域,具体涉及一种晶托孔洞清洁装置,包括传送机构和底座,底座上开设有滑动通槽,滑动通槽内滑动连接有第一移动机构,第一移动机构上固定连接有第二移动机构,第二移动机构上固定连接有至少一个清洁机构,传送机构将晶托运输至清洁机构处,清洁机构通过第一移动机构和第二移动机构进入晶托孔洞内进行清洁,本实用新型通过第一移动机构将带动第二移动机构移动,第二移动机构带动清洁机构移动,从而使清洁机构将晶托孔洞内所有位置的硅粉颗粒清理干净,避免在后续线切割工序中,硅粉颗粒被切割液冲至线网上导致

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220146365U

(45)授权公告日2023.12.08

(21)申请号202321661695.9

(22)申请日2023.06.28

(73)专利权人江苏美科太阳能科技股份有限公

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