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一种基于AI图像识别的半导体缺陷识别方法.pdfVIP

一种基于AI图像识别的半导体缺陷识别方法.pdf

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    本发明提供一种基于AI图像识别的半导体缺陷识别方法，根据缺陷原始坐标位置，计算初级缺陷准确率，并判断初级缺陷准确率是否到达初级阈值；若未达到初级阈值，则寻找缺陷偏移量，并进行调整；再根据缺陷最终坐标，计算次级缺陷准确率，并判断次级缺陷准确率是否到达次级阈值；若达到次级阈值，则进一步识别缺陷的类型，进行分类，并排序。其优点在于不改造或升级设备硬件本身的情况下，实现了自动化，拜托了对人员的依赖，大大减少了操作过程中的误判断和误操作，提高了生产效率，缺陷review成功率和稳定性，直接降低了人力成本。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117197021A

    (43)申请公布日2023.12.08

    (21)申请号202210583619.4

    (22)申请日2022.05.25

    (71)申请人上海哥瑞利软件股份有限公司

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