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本公开内容涉及一种用于执行扫描投影立体光刻的系统。该系统使用光投影仪，该光投影仪被配置成生成聚合光学信号以引发构建平面处的可光聚合树脂或材料的聚合。光学子系统使该聚合光学信号准直和聚焦。该光学子系统能够相对于构建平面移动以优化该聚合光学信号在该构建平面处的聚焦。光扫描子系统将从该光学子系统接收到的该聚合光学信号引导至该构建平面上的所选X轴位置和Y轴位置。定位子系统将该光学子系统定位在相对于该构建平面的所选位置处，其中，该所选位置被选择成优化该聚合光学信号在该构建平面上的特定所选X/Y位置处的聚焦
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117203038A
(43)申请公布日2023.12.08
(21)申请号202280030571.2(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限
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