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本公开提供一种基于Unet深度卷积网络的超分辨光刻光学邻近效应修正方法，包括：对设计图形进行光学邻近效应修正，得到由设计图形数据和对应的优化掩模图形数据组成的已知数据对，并拆分为训练集与验证集；将训练集中的设计图形数据分批次输入至Unet网络中，得到训练相关的预测图形数据；计算训练损失值，并更新Unet网络的权重参数；将验证集中的设计图形数据输入至更新后的Unet网络中，得到验证相关的预测图形数据；计算训练损失值和IOU值；判断训练损失值和IOU值是否满足相应预设条件或当前训练次数是否达到预设训
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117196978A
(43)申请公布日2023.12.08
(21)申请号202311144154.3
(22)申请日2023.09.05
(71)申请人中国科学院光电技
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