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本发明涉及一种兼容性晶圆背面打标治具装置,包括支撑台底板、吸附治具载台和载台旋转装置,载台旋转装置安装在支撑台底板上,吸附治具载台安装在载台旋转装置上;在吸附治具载台的上方从下往上依次设置有顶升接料台和压料台,在顶升接料台上设置有用于对压料台升降处理的压料顶升装置。可根据产品尺寸选用不同的加工载台,快速更换,无需繁琐拆装;可兼容多款尺寸,多系列产品加工,方便切换设备加工换型;实现一次性校正载台与光路切割垂直后,无需后期重新校正垂直度等一系列问题,避免产品加工批量性不良。为应对翘曲产品的吸附功能,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117182324A
(43)申请公布日2023.12.08
(21)申请号202311144173.6
(22)申请日2023.09.06
(71)申请人苏州德龙激光股份有限公司
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