一种基于3*3光纤耦合器的白光干涉检测装置与方法.pdfVIP

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2023-12-09 发布于四川
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一种基于3*3光纤耦合器的白光干涉检测装置与方法.pdf

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本发明属于光学检测领域，提出一种基于3*3光纤耦合器的白光干涉检测装置与方法。通过设置3*3光纤耦合器以及样品臂和参考臂，布置环形器和探测器，通过改变振镜的角度以改变参考光的光程。最终使得本方法实现在参考光同一光程的情况下，获得三路干涉信号，不受干涉光谱包络线影响，因此提高相位计算精度。进行低精度解的解调使用的是强度解调，寻找包络曲线的相干峰位置，避免了相位卷绕，增大了测量范围；在参考光同一光程同一时间采集一次，即可产生三路具有相移的干涉信号，测量时可以选取更大的采样步长，测量速度更快。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117190869A

(43)申请公布日2023.12.08

(21)申请号202311088023.8

(22)申请日2023.08.28

(71)申请人东北大学秦皇岛分校

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