原创力文档- 2
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- 2023-12-09 发布于四川
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本实用新型涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆加工用甩干机，包括箱体和旋转桶，所述旋转桶的后部固定连接有螺纹套筒，所述螺纹套筒的内壁螺纹连接有螺纹接头，所述螺纹接头的前部固定连接有底板，所述底板的后侧中部转动连接有六边形金属杆，所述六边形金属杆的前端固定连接有齿轮，所述六边形金属杆的前端贯穿底板。本实用新型中，限位挡板可以防止晶圆跑偏，使得晶圆固定不产生缝隙，解决了甩干机高速运转时晶圆发生碰撞的问题，保护了晶圆，降低了成本，并且内部结构相互不固定，甩干后方便拆卸，解决了甩干后残留在甩干机内的杂质
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220155499U
(45)授权公告日2023.12.08
(21)申请号202321634267.7F26B25/16(2006.01)
(22)申请日2023.06.
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