磁控溅射法制备GZO透明导电薄膜.docxVIP

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2023-12-11 发布于湖南
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磁控溅射法制备GZO透明导电薄膜

摘要

透明导电氧化物薄膜一种有良好透明性与导电性的半导体材料，也被人们叫做TCO薄膜。目前，TCO薄膜主要应用于平面显示器件、太阳能电池、红外反射器、气敏器件等光电领域。而应用的主要TCO薄膜材料就是氧化铟锡（ITO）薄膜。但构成ITO薄膜的主要成分铟却是稀有金属，在自然界十分稀少，造成ITO薄膜成本高昂；铟还含有一定的毒性。因此，ITO薄膜的发展前景有很大的局限性。与之相比，掺杂氧化锌薄膜发展潜力巨大：锌不是稀有金属，储量十分丰富，成本相对低；具有良好的透光性与导电性；不含毒性，不危害人体和污染自然环境。然而，本征ZnO的电阻率高，不容易导电