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- 2023-12-13 发布于上海
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Fe(Cu、Cr)掺杂Ge(Si)基稀磁半导体薄膜的研究的开题报告
【摘要】本文研究目的是通过掺杂Fe、Cu、Cr元素,改善Ge、Si基稀磁半导体的磁学性能,以期用于磁存储和磁传感器等领域。本研究采用磁控溅射技术制备Ge、Si基稀磁半导体薄膜,并掺杂不同比例的Fe、Cu、Cr元素,研究其对薄膜磁学性能的影响。研究发现,掺杂Fe、Cr元素可有效提高薄膜的饱和磁化强度和矫顽力,而掺杂Cu元素则会降低磁学性能。本研究对于优化Ge、Si基稀磁半导体薄膜的磁学性能具有重要的意义。
【关键词】稀磁半导体;掺杂;磁学性能;磁控溅射;磁存储;磁传感器
1.研究背景和意义
稀磁半导体由于同时具有磁性和半导体性质,成为了磁存储和磁传感器等领域的重要材料。其中,Ge、Si基稀磁半导体由于具有丰富的磁学性质和优异的半导体性质,成为当前研究的热点之一。但是,Ge、Si基稀磁半导体的磁学性能较弱,需要通过掺杂改善其磁学性质,以满足磁存储和磁传感器等领域对材料性质的要求。
2.研究方法
本研究采用磁控溅射技术制备Ge、Si基稀磁半导体薄膜,并掺杂不同比例的Fe、Cu、Cr元素。通过磁学测试和结构分析等方法,研究掺杂元素对薄膜磁学性能的影响,分析其改善机理。
3.研究预期结果
通过掺杂Fe、Cu、Cr元素,可以有效改善Ge、Si基稀磁半导体薄膜的磁学性能,提高其饱和磁化强度和矫顽力。本研究为优化Ge、Si基
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