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本申请涉及靶材生产技术领域，公开了一种高纯度氧化铟铈钽钬靶材的制备方法，包括如下步骤：步骤1：按照摩尔比In:Ce:Ta:Ho＝90～94:0.8～1.2:4～6:1.2～2.8的比例称取铟、铈、钽、钬的可溶性金属盐，溶解于去离子水中；步骤2：在步骤1的混合物中加入沉淀剂尿素并混合；步骤3：将步骤2的混合物置于密闭容器中在190～200℃的条件下加热，加热结束后分离得到前驱体粉末；步骤4：将前驱体粉末进行煅烧、成型操作后得到氧化铟铈钽钬靶材。该靶材中铟的含量相对较低，结合铈钽钬的使用，有利于控制
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117209256A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311193924.3C23C14/08(2006.01)
(22)申请日2023.09.
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