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本申请涉及硅烷反应精馏领域，具体公开了一种硅烷反应精馏工艺及其系统。一种硅烷反应精馏系统，其包括依次连通设置的提纯塔、反应精馏塔、脱轻塔以及产品塔；反应精馏塔上段装填有第一催化剂床层以及第二催化剂床层，第一催化剂床层和第二催化剂床层之间设置有隔板，所述第一催化剂床层和第二催化剂床层均装填有弱碱基树脂催化剂，以实现二氯二氢硅歧化反应生成硅烷。一种适用于上述的一种硅烷反应精馏系统的硅烷反应工艺，以西门子多晶硅生产中副产物二氯二氢硅为原料，经过本申请的一种硅烷反应精馏系统生产的高纯电子级甲硅烷电子特气
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117205842A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311199029.2B01D3/00(2006.01)
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