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本申请实施例涉及一种滤波器、电子设备及滤波器的制备方法，其中，方法包括：提供衬底，衬底包括彼此相对的第一表面和第二表面；在衬底的第一表面上形成压电谐振结构叠层，压电谐振结构叠层包括依次堆叠的第一电极、压电层和第二电极；在压电谐振结构叠层上形成牺牲层；形成包覆牺牲层的塑封层；在牺牲层的支撑下，从衬底的第二表面，形成贯穿衬底的第一空腔；去除牺牲层，形成第二空腔。形成压电谐振结构叠层时，衬底上未形成牺牲层，提高压电谐振结构叠层形成质量；将牺牲层作为执行背面工艺的支撑，增大机械强度，降低薄膜破裂风险；第
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117220627A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311259260.6
(22)申请日2023.09.27
(71)申请人苏州汉天下电子有限公司
地址2
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