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用于半导体暗场检测的照明装置以及检测系统.pdfVIP

用于半导体暗场检测的照明装置以及检测系统.pdf

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    本披露公开了一种用于半导体暗场检测的照明装置以及检测系统。该照明装置包括：环形光纤，其包括两组光纤组，其中每一组光纤组包括相对设置的两段弧形光纤；以及控制元件，其与环形光纤连接，并配置成：根据半导体中芯粒的切割道方向，从两组光纤组中选择一组点亮，以作为半导体的暗场检测光源。通过本披露实施例的方案，能够实现多段控制出光，实现有针对性地照明控制。尤其是在半导体检测时，通过关闭灯珠反射成像方向上的两段弧形光纤，并开启另一方向上的两段弧形光纤，消除灯珠在半导体表面的反射成像，以此保障检测图像的成像质量，

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117212736A

    (43)申请公布日2023.12.12

    (21)申请号202311486099.6

    (22)申请日2023.11.09

    (71)申请人苏州高视半导体技术有限公司

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