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一种基于激光跟踪仪结合机械臂在位测量光学元件面形的方法.pdfVIP

一种基于激光跟踪仪结合机械臂在位测量光学元件面形的方法.pdf

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    本发明公开了一种基于激光跟踪仪结合机械臂在位测量光学元件面形的方法，利用机械臂牵引气浮靶标通过激光跟踪仪在位测量光学元件面形。首先将气浮靶标与机械臂结合，然后使用机械臂带动气浮靶标非接触于光学元件表面，通过机械臂运行程序，带动气浮靶标按规划路径在学元件表面上气浮滑动，此时通过激光跟踪仪在位扫描测量气浮靶标球坐标点，最后通过拟合分析获取光学表面面形轮廓信息。本发明将气浮靶标牵引与测量过程自动化，可恒定牵引速度，协助激光跟踪仪快速定位扫描测量，能有效降低人员操作误差，提高测量效率及准确性。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117213369A

    (43)申请公布日2023.12.12

    (21)申请号202311320805.X

    (22)申请日2023.10.12

    (71)申请人中国科学院光电技术研究所

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