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本发明涉及显微镜技术领域,具体公开了一种内扩转塔物镜机构以及分离视场显微镜,包括连接物镜转塔机构与显微镜物镜座的转塔连接筒,转塔连接筒底部连接有转塔物镜机构,转塔物镜机构包括物镜转塔和设置在物镜转塔上的物镜、内扩物镜机构,通过旋转转塔物镜机构依次切换物镜、内扩物镜机构与转塔连接筒的配合;内扩物镜机构包括物镜筒和设置在物镜筒底部的物镜头,物镜头的光路入口偏置在物镜筒中轴线的内侧。解决了接触、接近式曝光机用双目分离视场显微镜无法切换物镜的问题,并且为接触、接近式曝光机提供了曝光更小尺寸基片的对准条件
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117215047A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311262050.2
(22)申请日2023.09.27
(71)申请人三河建华高科有限
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