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本方案属于气体除杂技术领域，具体涉及一种采用吸附法去除氧化亚氮中甲烷和乙炔的方法。包括如下步骤：步骤S10：将吸附器抽负处理，除去吸附器中的空气，然后通入高纯氧化亚氮气体，步骤S20：向吸附器中通入氧化亚氮原料气，使得氧化亚氮原料气与液体吸附剂和固体吸附剂接触；步骤S30：液体吸附剂和固体吸附剂均对氧化亚氮原料气中的杂质进行吸附，去除甲烷和乙炔的氧化亚氮气体从出气管中排出。本方案采用吸附器对甲烷和乙炔进行吸附，使得气体在液体中流速缓慢，增加了气体与吸附剂的接触时间，使得气体与液体吸附剂和固体吸附
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117205721A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311299824.9
(22)申请日2023.10.09
(71)申请人欧中电子材料（重庆）有限公司
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