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磁控溅射镀膜机使用说明

磁控溅射镀膜机使用说明

检查水箱液面高于冷却管，三相电指示灯，出气管放到窗外。（推荐用纯净水）

放样品

打开放气阀，打开侧门，关闭放气阀。（或看真空计示数）

升顶盖

放靶材，放样品，用万用表检查靶材与外壳是否短路

降顶画，关侧门

抽真空

手按住侧门，开机械泵，开电磁阀，开预抽阀

清洗Ar气管，将Ar气减压阀关闭（逆时针），将Ar气开关打向（D08－1F）清洗，示数降为零（0.1－0.2）打到关闭，打开Ar气瓶上减压阀0.2Mpa

当气压计小于5pa，开分子泵（先合上电源，再按运行，运行一段时间后自动停止），关预抽阀，开抽板阀

烘烤（约半小时），关烘烤（未做）

等待真空至要求值。

4、溅射

关小抽板阀，打开Ar气开关至阀控，流量设置为要求值（文献），调节抽板阀令腔内气压至工作气压（文献Ar气压）20pa

打开偏压电源（直流），打开基底挡板，清洗基底（清洗完关基底挡板）。

恒电流：

打开射频电源，调节功率至要求值，打开靶材挡板，开始溅射。射频电源要令Pr尽可能至零（调节LOAD，TUNE调占空比）。

打开基底挡板，开始溅射。

停机

溅射完，关射频电源off,流量调至0，关Ar气至关闭，打开抽板阀，抽真空1小时。

关抽板阀，关分子泵（先按STOP，一直到示数为0，再关闭电源），关电磁阀，关机械泵。

关气瓶（主）

注意：

不允许真空状态下，打开顶盖升降。

不允许分子