原创力文档- 3
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- 2023-12-16 发布于四川
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本发明提供一种用于方形基片对中结构，包括支撑板、基板、对中气缸、真空立柱、第一支撑立柱、第二支撑立柱、基片和对中装置；所述基板固定安装在所述支撑板上；所述对中气缸安装在所述基板上；两个所述真空立柱对称的固定安装在所述基板上；所述第一支撑立柱和第二支撑立柱对称的固定安装在所述基板上；所述基片设置在所述真空立柱、第一支撑立柱及第二支撑立柱上端；所述对中装置设置在所述对中气缸上，用于快速对中所述基片。本发明采用机械式对中系统，通过夹持方型晶片对角的方式进行对中处理，速度快，不会造成滑片，而且检测方便。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109273395A
(43)申请公布日
2019.01.25
(21)申请号20181
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