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基板清洗装置、基板处理装置、基板清洗方法及基板处理方法.pdfVIP

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  • 2023-12-16 发布于四川
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基板清洗装置、基板处理装置、基板清洗方法及基板处理方法.pdf

    本发明涉及一种基板清洗装置、基板处理装置、基板清洗方法及基板处理方法，在基板清洗装置，在使研磨头与利用旋转夹具旋转的基板的一面接触的状态下，使该研磨头至少在基板的中心和外周部之间移动。由此，基板的一面被研磨头研磨，从而去除存在于基板的一面上的污染。此时，根据基板的半径方向上的位置，使利用研磨头去除污染的去除能力发生变化。去除污染的去除能力是指，通过研磨擦掉附着于基板的一面的污染物、残留于基板的一面的吸附痕和接触痕等的能力。例如能够通过调整从研磨头作用于基板的一面的按压力，使去除污染的去除能力发生

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN107818928A

    (43)申请公布日

    2018.03.20

    (21)申请号20171

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