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本实用新型公开了一种底部分离式碳化硅单晶生长用石墨加热器，涉及碳化硅单晶生长技术领域。该底部分离式碳化硅单晶生长用石墨加热器包括分体式的加热器本体；加热体本体包括加热器壁，所述加热器壁贯通设置；还包括加热器座，所述加热器座上设置有连接结构，用来与加热器壁配合，加热器壁与加热器座可拆卸连接。本实用新型的底部分离式碳化硅单晶生长用石墨加热器采用石墨加热器壁和石墨加热器座两段式设计，石墨加热器壁内部掏出的材料可以继续加工成其它石墨零部件，提高了原材料的利用率，石墨加热器壁被腐蚀严重，优先报废，石墨加热
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220183432U
(45)授权公告日2023.12.15
(21)申请号202321407407.7
(22)申请日2023.06.05
(73)专利权人上海东洋炭素有限公司
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