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本实用新型涉及离心载具技术领域，且公开了一种防止碳化硅基氮化镓薄膜沉积的离心载具，包括载台，所述载台的上方设有盖罩，所述载台的上侧壁开设有多个放置槽，所述放置槽内放置有离心筒，所述离心筒的上侧壁铰接有盖板，所述盖板通过固定机构和离心筒的侧壁固定连接，所述离心筒的下侧壁固定连接有搅拌电机，所述搅拌电机的输出端位于离心筒内且固定连接有搅拌轴。本实用新型能够在将碳化硅基氮化镓放置到离心载具后，可以对碳化硅基氮化镓进行搅拌，避免碳化硅基氮化镓在载具内沉淀，而且在离心工作开始时，停止搅拌轴的工作，避免对离
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220177190U
(45)授权公告日2023.12.15
(21)申请号202321422271.7
(22)申请日2023.06.06
(73)专利权人南京百识电子科技有限公司
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