原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及碳化硅涂层石墨载盘加工技术领域，且公开了一种碳化硅涂层石墨载盘生产用石墨基体表面处理设备，包括箱体和箱盖，所述箱体内设有一组摆动机构，一组所述摆动机构的数量不少于两个，所述摆动机构上设有夹紧件，多个所述夹紧件高度从左往右逐渐升高，所述箱体内设有第一底板，通过设置的第一进水管将清洗剂溶液送入箱体内部，然后清洗剂溶液沿着第一底板快速流淌，再配合第一出水管将清洗剂溶液抽出，如此可以使得清洗剂溶液循环流动对石墨基体进行冲洗，同时清洗剂溶液沿着第一底板阶梯面由高处向低处流动，在重力作用下，清洗剂
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117225784A
(43)申请公布日2023.12.15
(21)申请号202311192044.4
(22)申请日2023.09.15
(71)申请人昊石新材料科技南
文档评论（0）