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2023年分步重复光刻机项目规划设计方案.docx

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    分步重复光刻机项目规划设计方案

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    分步重复光刻机项目规划设计方案

    目录

    TOC\h\z6455序言 3

    30105一、分步重复光刻机项目选址可行性分析 3

    26545(一)、分步重复光刻机项目选址 3

    28957(二)、用地控制指标 3

    5485(三)、节约用地措施 5

    1970(四)、总图布置方案 6

    28788(五)、选址综合评价 7

    8176二、分步重复光刻机项目文档管理 8

    6885(一)、文档编制与审查 8

    31160(二)、文档发布与分发 10

    27227(三)、文档存档与归档 11

    15501

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