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电磁阀密封式外供油屏蔽油管.pdfVIP

电磁阀密封式外供油屏蔽油管.pdf

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    本申请公开了电磁阀密封式外供油屏蔽油管，属于真空镀膜技术领域，其包括设置于真空腔室内的屏蔽油管，屏蔽油管内开设有用于输油的管路，屏蔽油管上设置有中心蒸发盒，屏蔽油管的一侧设置有供油机构，供油机构位于真空腔室外，供油机构能够给屏蔽油管输油，中心蒸发盒能够加热屏蔽油管内的油，使得管路内产生油蒸汽，屏蔽油管上还设置有多组控制机构，控制机构能够阻止油蒸汽排出屏蔽油管外；中心蒸发盒包括第一电磁阀、单向阀以及加热棒，屏蔽油管开设有与管路相连通的安装槽，屏蔽油管上固定连接有安装座，第一电磁阀安装于安装座上，单

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117249330A

    (43)申请公布日2023.12.19

    (21)申请号202311517404.3

    (22)申请日2023.11.15

    (71)申请人合肥东昇机械科技有限公司

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