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- 2023-12-20 发布于四川
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本实用新型提供了一种靶材环形卡扣保护罩结构，涉及薄膜制备技术领域，包括安装轴、两个轴头和两个保护模块，靶材套设于安装轴上，轴头设于安装轴的左右两端，两个保护模块分别设于安装轴的两端，保护模块包括卡扣、护罩、第一绝缘环和第一轴承，两个卡扣套设于安装轴上，分别对靶材的左右进行限位，使靶材在安装轴上的位置固定；两个第一绝缘环分别套设于两个轴头上，护罩固定于卡扣上，对卡扣、第一绝缘环和第一轴承进行覆盖，第一轴承设于第一绝缘环和护罩之间，使护罩和第一绝缘环相对转动，实现了溅射镀膜过程中，当靶材转动时，护罩
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220202024U
(45)授权公告日2023.12.19
(21)申请号202321562468.0
(22)申请日2023.06.16
(73)专利权人深圳市镭煜科技有限公司
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