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一种钛铝腐蚀底层钛超出铝边缘的腐蚀方法及器件.pdfVIP

一种钛铝腐蚀底层钛超出铝边缘的腐蚀方法及器件.pdf

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    本发明提供了一种钛铝腐蚀底层钛超出铝边缘的腐蚀方法及器件，属于半导体制造技术领域。其中，方法包括：在晶圆表面依次沉积金属钛层和金属铝层；在待腐蚀区域表面上旋涂光刻胶，并进行光刻处理，形成具有预设形状窗口的光刻胶膜；通过预设形状窗口对金属铝层和金属钛层依次进行腐蚀，然后根据刻蚀液对膜的腐蚀选择性特点，再进行钛铝金属膜腐蚀使铝层边缘缩进，去除光刻胶膜，从而实现底层钛超出铝边缘的腐蚀形貌。本发明通过二次铝层腐蚀的方法，既可以去除铝屋檐结构，又可以实现钛金属层超出铝层边缘的独特形貌，使金属电极接触更加充

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117253789A

    (43)申请公布日2023.12.19

    (21)申请号202311239641.8H01L21/28(2006.01)

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