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- 2023-12-20 发布于四川
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本发明提供了一种体声波滤波器及其制造方法,通过设置凸起结构能够减少能量泄露,提高所形成的体声波滤波器的品质因数Q。进一步的,所述凸起结构位于压电层上,并且和压电层的材质相同,由此,所述凸起结构和所述压电层具有很高的结合力,避免了凸起结构的脱落,并且还能够避免顶电极形成过程中对于所述凸起结构的伤害,提高了所形成的体声波滤波器的质量和可靠性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117254790A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311336302.1H03H9/02(2006.01)
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