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本申请提供一种晶体生长装置,涉及功能材料领域,包括炉体、籽晶杆、坩埚单元和加热单元,坩埚单元与加热单元均设于炉体内,加热单元用于调节炉体内温度;坩埚单元包括保温罩、金属坩埚、内层耐高温坩埚、外层耐高温坩埚和垫块,金属坩埚嵌设于内层耐高温坩埚内,内层耐高温坩埚嵌设于外层耐高温坩埚内,垫块支撑于内层耐高温坩埚和外层耐高温坩埚之间;保温罩同时罩设于金属坩埚、内层耐高温坩埚、外层耐高温坩埚的开口侧;保温罩设有提拉孔,籽晶杆穿设于提拉孔内且与提拉孔活动配合。运行时,该结构能够减小晶体生长过程中坩埚的形变量
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN114990695A
(43)申请公布日2022.09.02
(21)申请号202210704600.0
(22)申请日2022.06.21
(71)申请人成都东骏激光股份有限公司
地址6
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