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本发明涉及一种液冷系统、方法以及具备该系统的电子元件检测设备,其为当电子元件被容纳于测试座的芯片容纳槽内时,冷却液供给装置通过流体进入部供给冷却液至芯片容纳槽,且冷却液至少流经电子元件的上、下表面的局部后由流体排出部流出。据此,本发明直接以测试座的芯片容纳槽作为冷却液的容留空间,让冷却液至少可以流经电子元件的上、下表面,进而使电子元件于沉浸有不断流动的冷却液的环境中,借此提供绝佳的冷却效果。同时,流动的冷却液也可带走异物,可避免因异物影响测试的进行,例如造成接点或探针短路。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117250371A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202210656950.4
(22)申请日2022.06.10
(71)申请人致茂电子(苏州)
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