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本发明提供了一种发光二极管芯片及其制作方法，微反射镜凸点阵列通过沉积形成于P型窗口层上，进而无需对P型窗口层进行刻蚀处理，使得P型窗口层的完整性高，不仅保证了P型窗口层的电流扩展性能高，还避免了对发光外延结构造成损伤碎裂的风险。并且，本发明提供的ODR反射镜中微反射镜凸点能够有效增大反射面积，进而保证发光二极管芯片的发光效率高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117253949A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202310303639.6H01L33/00(2010.01)
(22)申请日2023.03.
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